| Amonijak (NH3) | Nitrous oksid (N2O) | ||
| Dihlorosilane (SiH2Cl2) | Kiseonik (O2) | ||
| Disilane (Si2H6) | Silane (Sih4) | ||
| Hexachlorodisilane (Si2Cl6) | Trihlorosilane (SiHCl3) | ||
| Monomethylsilane (MMS) | Trimetilsilane (3MS) | ||
| Azot-oksid (NE) | Tungsten hexafluoride (WF6) |
Ova lista nije iscrpljujuća. Dostupnost i specifikacije mogu da se razlikuju u zavisnosti od lokacije. Za više informacija obratite se lokalnom predstavniku Lindea.

